真空壓力控制器/真空隔離閥

• 高速的反應設定效能
• 金屬密封，無塵室製造的元件適用於的高純度環境的應用
• Baratron電容壓力計技術
• 溫度補償可保持設備精度
• 背面晶圓冷卻功能

真空隔離閥_波紋管密封提升閥

在無塵室條件下的使用壽命可延長至1,000,000次，大大延長了系統的正常運行時間。
成型的不銹鋼波紋管可防止波紋管圈內的除氣，虛洩漏和顆粒滯留，從而延長了傳統
O形圈軸密封閥的閥門使用壽命。 波紋管的行程長度經過優化，可確保較長的循環壽
命，同時保持高傳導性。

蝴蝶節流閥

• ETG.5003.1通用設備配置，ETG.5003.2030過程控制閥
• 三種電機選項，可優化速度和扭矩
• 提供“F-seal”軟密封擋板選項，可在高壓設定點進行穩定的壓力控制
• 可使用PID或MKS模型的控制進行高性能壓力控制
• 可加熱閥體（105°C標準，150°C選配）
• 雙通道Baratron®傳感器輸入，帶範圍自動切換功能

流量控制閥

148J 全金屬控制閥可最大限度地減少顆粒的產生，減少殘留污染物的釋氣。
保證外部洩漏率小於1 x 10-10 atm cc / sec（He）的金屬密封件，以避免污染和腐蝕。
148高溫閥可以在150°C的溫度下工作。

• 316 S.S.，Nickel和Teflon®潤濕材料
• 10至30,000 sccm滿量程流量範圍
• 4個VCR®公接頭
• 可烘烤至150°C

R系列隔離閘閥

R系列閘閥經過優化，可用於隔離半導體和普通真空應用中的粗加工泵和粗加工生產線。
R系列提供多種選項，包括氣動和手動執行器，鎖定功能和位置指示器。 R系列採用彈性
軸密封，用於執行器密封，可實現高性能，低成本，高價值的包裝，適用於粗加工真空
應用。 R系列閘閥的不銹鋼版本有DN80，DN100和DN160兩種尺寸。