真空流量計

流量控制器

P4B流量計下載

通過流程控制創新實現生產力
控制器可用於基於熱和壓力的傳感器技術,
模擬和數字通信以及金屬或彈性體密封。

P4B是新一代多氣體/多量程質量流量控制器,滿足關鍵氣體流量控制要求的準確性和反應速度,
同時最大限度地降低流量控制器的庫存要求。 P4B MFC多氣體/多量程功能已啟用存儲在存儲器中
的氣體參數,可為用戶選擇的氣體提供1%的設定點精度,並且能夠滿量程範圍從5 sccm到50 slm。

  • Flow rates from 5 to 50,000 sccm
  • Multi-gas/multi-range with 1% of set point accuracy
  • Analog I/O: 0 to 5 VDC
  • Digital I/O: DeviceNet, RS485
  • MFM option

多氣體/多範圍能力
通過設備的嵌入式軟件和標準以太網接口,無需特殊軟件,只需標準的網頁和PC即可輕鬆利用多氣體
/多量程功能。已經存儲在設備上的是半導體工業當前使用的大多數氣體的關鍵氣體參數。選擇氣體並
指定配置設備的範圍很簡單。通過該界面,用戶可以在設備運行時執行設備監控診斷。

P系列高性能MFC具有全數字控制架構,可在可操作設備範圍內快速響應設定值。嵌入式Web瀏覽器
應用程序允許更改氣體類型和滿量程流量,從而通過最大限度地減少必須保留在庫存中的MFC的數量
和種類來降低總體成本。

高精度原流量檢測器

HA-MFV,高精度質量流量檢測器設計用於過程工具,以現場驗證質量流量控制流量。
HA-MFV具有EtherCAT®或DeviceNet™通信和1.0%讀數的測量精度,可以比實際氣體
更好地驗證MFC流量,比舊的升溫率設備或處理室升溫率方法更好。

  • 晶圓到晶圓,腔室到腔室過程匹配的精度為1.0%
  • 支持多個氣體面板,以降低實施成本
  • 5至3000 sccm的測量範圍適用於各種工藝
  • MFC流量的現場評估改善了過程控制並避免了不必要的停機時間

區域流量比控制器

DELTA™II流量比控制器將混合氣體流分配和控製到處理室內的多個腔室或區域,
其比率由用戶指定,從而最大化工藝均勻性和可重複性。 它可與EtherCAT®或
DeviceNet™通信一起使用。

  • 分割和控制氣體流到兩個腔室或區域
  • 嵌入式Ethernet,用於運行期間的設定
  • 獲得專利的演算法,可實現更快的響應比率設定點
  • 更寬的動態控制範圍,比率控制低至5%全量程流量
  • 明亮的LED顯示屏,用於查看流量比,溫度和Ethernet地址
  • 使用標準網絡瀏覽器 – 無需特殊軟件

蒸汽流量控制器

1150C蒸汽源質量流量控制器是基於壓力的測量和控制系統,設計用於直接測量和控制來
自低蒸氣壓液體和固體源的蒸汽,而不需要使用粘性流通過扼流孔的載氣。

  • 無需載氣系統即可提供源蒸汽
  • 通過扼流孔的粘性流動
  • 30至150°C的工作溫度範圍
  • 全金屬密封設計避免汙染
  • 精確的溫度控制

真空系統控制器

946是一款多功能半機架真空計測量和控制系統。 它為多達六個不同的真空計和/或質量流量控制器提供電源和同步讀數,並提供控制壓力的選項。 這種高度靈活的真空系統控制器支持多種傳感器技術,包括Baratron®電容壓力計,冷陰極,熱陰極,標準Pirani和對流Pirani傳感器,適用於從超高真空到高於大氣壓的測量範圍。

  • 同時控制和顯示六個真空計/質量流量控制器
  • 壓力讀數從10,000 Torr下降到10-11 Torr
  • 用於閥門的閉環壓力控制選件
  • 所有配置均採用RS232 / 485計算機控制標準,便於系統集成
  • 使用多個質量流量控制器控制流量比

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