MKS Instruments

真空產品

MKS產品源於壓力測量和控制:
流量測量和控制,氣體和蒸汽輸送,氣體成分分析,殘餘氣體分析,
洩漏檢測,控制技術,臭氧發生和輸送,電力,活性氣體產生,真空
方面的核心競爭力 技術,激光,光子學,亞微米定位,振動控制,
光學和基於激光的製造解決方案。

產品大類:
氣體壓力及流量測量與控制
射頻/直流/微波電源發生器
氟原子/臭氧反應氣體發生器
真空產品,氣體分析儀及信息和控制技術等產品。

流量計/流量控制器

真空計/傳感器

壓力控制器/真空隔離閥

立宏工業有限公司

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