不鏽鋼位移台60mm
微調平台導覽
| 台面尺寸 | 25mm*25mm | 40mm*40mm | 60mm*60mm | 80mm*80mm | 100mm*100mm |
|---|---|---|---|---|---|
| 本體材質 | SUS440C | ||||
| 滑台表面 | 不鏽鋼-鍍無電解鎳 | ||||
| 滑台驅動 | 分厘卡測頭 | ||||
| 耐荷重 | 39.2N(4kgf) | 98N(10kgf) | 196N(20kgf) | 265N(27kgf) | 343N(35kgf) |
| 移動行程 | ±3mm | ±6.5mm | ±6.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm |
| 真直度 | 3μm | 3μm | 3μm | 5μm | 5μm |
| 平行度(X) | 30μm | 15μm | 15μm | 20μm | 20μm |
| 平行度(XY) | 30μm | 30μm | 30μm | 40μm | 40μm |
| 分厘卡測頭轉一圈移動量 | 5μm | ||||
LMS-X25 |  LMS-X40 | LMS-X60 | LMS-X80 |
LMS-X100 |